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    央視《新聞聯播》:加速集成電路核心裝備自主創新

    來源:默認部門     作者:新聞中心     發布時間:2020年04月08日              

      4月5日,央視《新聞聯播》聚焦中國電科在離子注入機等關鍵核心集成電路裝備科研攻關上取得的可喜進展,展現了中國電科在推動我國集成電路高端裝備自主創新上的責任與擔當。

      新聞深一度

      4月4日,中國電科裝備子集團牽頭實施的“大束流離子注入機裝備及工藝研發”項目,以同類獎項排名第一的成績,榮獲北京市科學技術進步一等獎。這是自1月份裝備子集團參與研制的新一代核心射頻芯片項目獲得“國家科技進步一等獎”以來,在科技創新領域獲得的又一含金量十足的獎項,標志著裝備子集團在集成電路核心裝備自主創新方面取得重大突破。

      離子注入機是集成電路制造至關重要的核心裝備。

      作為電子制造高端裝備領域的“國家隊”,中國電科始終致力于為國家解決高端裝備關鍵技術自主創新難題,堅持將離子注入機作為產業發展的主攻方向之一。經過數十年的攻關,在國家科技部02重大專項等項目的支持下,裝備子集團不斷突破離子注入機關鍵核心技術,累計取得發明專利101項,國際專利2項,實現了國產離子注入裝備從消化吸收到自主創新再至產業化的跨越式發展。

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